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5850EMH系列高温质量流量控制计
  • 产品型号：
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2022-07-15
  • 访  问  量：317
简要描述：

5850EMH系列高温质量流量控制计
型号 5850EMH / 5851EMH高温应用中超高纯表现，Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了的性能，具有多种选择，允许大的应用灵活性。

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产品详情

5850EMH系列高温质量流量控制计

5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

5850EMH系列高温质量流量控制计

特点

  • 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
  • 宽流速范围（0.003 – 100 slpm）
  • 高纯度 VAR 316L 不锈钢
  • 无磨粒
  • 氦泄漏检查端口
  • 常闭阀（可选常开阀）
  • 电致动阀复位
  • 低命令流量断流
  • TTL 兼容”关阀”功能优势
  • 稳定、可靠的产品平台
  • 高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
  • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
  • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

5850EMH系列高温质量流量控制计

应用

  • 光纤制造——MCVD，OVD，AVD
  • 水汽流量控制

5850EMH系列高温质量流量控制计

型号5850EMH5851EMH
流量范围-满量程容量3 sccm – 30 slm (N2 equivalent)10 – 100 slm (N2 equivalent)
精度±1% FS±1% FS
重复性< ±0.25% of SP< ±0.25% SP
响应时间-常闭3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
模拟通讯0-5 Vdc0-5 Vdc
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