型号 5850EM / 5851EM超纯洁净体系，适用于高压应用，5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。

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5850EM 系列金属密封热质量流量控制器

该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保出色的流量完整性并有助于整体提升过程效率，这得益于设备无需对气体压力进行连续监测和重新调节即可保证流量稳定。

5850EM 系列金属密封热质量流量控制器

型号	5850EM	5851EM
流量范围-满量程容量	.06 sccm – 30,000 sccm	10 – 100 slpm Nitrogen
表面抛光	5 Ra internal finish (optional) Electropolished wetted surfaces (optional)	Electropolished wetted surfaces (optional) Enhanced process (5 Ra avg.) internal surface finish(optional) High purity VAR 316L Stainless Steel
精度	1% F.S. including linearity 1.5% F.S. including linearity (>20 slpm)	1 % F.S. including linearity
重复性	0.25% Rate	0.2% Rate
响应时间-常闭	Normally Closed Valve <3 sec	Normally Closed Valve <3 sec
多气体多量程	N/A	N/A
瞬时压力波动不敏感	.008% per psi Nitrogen	0.03% per psi up to 150 psig
诊断能力	MFC Health, Network Status	MFC Health, Network Status
模拟通讯	4-20 mA 0-5 Vdc	4-20 mA 0-5 Vdc
数字通讯	N/A	Profibus RS485 S-Protocol RS485 L-Protocol DeviceNet™

5850EM 系列金属密封热质量流量控制器

河北泽叶科技有限公司代理的仪器广泛适用于航天、电力、化工、环保等行业以及科研部门，教学院校，环境监测站等
公司主要产品有：气体检测仪、气体分析仪、烟气分析仪、水质检测仪，室内空气质量检测仪，实验室设备，露点仪，辐射检测仪，风速仪，流量计，报警控制器，甲醛检测仪，食品安全检测仪等。

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