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制气配气

环保

各种仪器分析 

量程范围

5SCCM～30SLM

准确度

±1.0%F.S

温度：±1℃

线性

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

<1.0s

模拟量

0～5V、4～20mA

供电

±15VDC、24VDC

工作温度

0～50℃

工作压力

工作压降：<10Kpa

大耐压

3MPa/10MPa

电气连接

DB15孔、DB9针

漏率

1×10-9SCCSHe

温度系数

±0.015%F.S/℃

底座材质

316L

密封材质

氟橡胶，氯丁橡胶，d腈橡胶

接头

φ3，φ6，1/8"，1/4"

系列号

AST10-AL

产品类型

【C】质量流量控制器        【M】质量流量计

耐压范围

【M】3MPa                  【Z】10MPa

流量范围

【005C】5SCCM       【010C】10SCCM     【020C】20SCCM    【030C】30SCCM

【050C】50SCCM      【100C】100SCCM    【200C】200SCCM   【300C】300SCCM

【500C】500SCCM     【001L】1SLM       【002L】2SLM      【003L】3SLM

【005L】5SLM        【010L】10SLM      【020L】20SLM     【030L】30SLM

被测介质

详见首页密度参照表

流量输入信号

【A1】0～5VDC               【A2】4～20mA

输出信号

【B1】0～5VDC               【B2】4～20mA

供电电压

【5】±15VDC                【4】24VDC

密封材质

【V】氟橡胶    【T】聚四氟乙烯       【N】氯丁橡胶    【Y】其他

使用接头

【A】φ3   【B】φ6    【F】1/8"   【G】1/4"     【Y】其他

选型举例

AST10-AL  M  M  500C   007  A1   B1    5    V    B